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超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測試系統(tǒng)

Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / SpectroscopicMicroscope System

將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對接于超高真空系統(tǒng)，可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測節(jié)點之一，用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測。

產(chǎn)品特性和核心技術(shù)

模塊化設(shè)計，光學(xué)部分相對獨立。

·包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器、自動調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個光學(xué)模組之中，作為整體置于超高真空腔體之外，透過視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面。

·不污染真空內(nèi)環(huán)境。

·超高真空系統(tǒng)烘烤時可以整體取走，并在烘烤完畢之后方便地定位安裝。

·可根據(jù)用戶需求，靈活配置激光器、單色儀、探測器和物鏡等光學(xué)組件。

視窗玻璃厚度像差的補償校正。

·拉曼光譜的高收集效率和分辨率。

性能參數(shù)：

注：上述表格中的激光波長、物鏡和單色儀等部件可以根據(jù)客戶需求調(diào)整。

測試案例：

超高真空長工作距離（120 mm）顯微測試